設(shè)備名稱(chēng):
硅單晶棒定向儀
設(shè)備用途:
該儀器專(zhuān)門(mén)用于硅單晶棒定向測(cè)量，與YX-6Z型晶棒粘接儀 配套使用。最大特點(diǎn)是，測(cè)量晶向后直接計(jì)算出晶棒的偏轉(zhuǎn)角，X和Y值，根 據(jù)偏晶向的要求進(jìn)行準(zhǔn)確計(jì)算偏晶向的角度值。測(cè)定值可打印，打印記錄項(xiàng)目包括晶棒批次信息、方位θ值、測(cè)定日期及實(shí)間粘接調(diào)整角度值。 三、設(shè)備配置：該儀器有X射線(xiàn)控制器、測(cè)角儀、記錄儀、電磁光閘、單片機(jī)控制、輸入信息、屏幕菜單顯示、數(shù)據(jù)打印、角度顯示、晶棒自動(dòng)旋轉(zhuǎn)控制、峰值強(qiáng)度表等組成。計(jì)算軟件采用國(guó)際通常算法，以度為單位，顯示最小精度0.001度，測(cè)量精度±0.008度，能夠測(cè)量直徑2-8英寸，長(zhǎng)100-450㎜，測(cè)量晶面為110、100等。設(shè)備配有防護(hù)罩。 |
