勞厄照相與高精度定向
照相：利用背射勞厄照相，底片安裝在晶體與射線源之間，而入射光束則在底片上的小孔通過，所記錄的為向后方向上的衍射光束，用衍射光束的方向來測量未知晶體單位晶胞的的形狀和大小，以測定晶體的取向和評(píng)定晶體的完善性。
定向：對(duì)晶體材料進(jìn)行精確測角定向，利用X射線通過前置單色器，衍射線被單色化后照射到樣品上，符合公式nλ=2dsinθ時(shí)產(chǎn)生衍射，被計(jì)數(shù)管接收放大，通過表顯示強(qiáng)度，測角儀顯示器讀出準(zhǔn)確角度值。
主要參數(shù)：
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電 源 |
AC220V 50HZ 30A |
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功 率 |
2KW |
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靶 材 |
Cu |
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管電壓 |
50KV（連續(xù)可調(diào)） |
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管電流 |
50mA（連續(xù)可調(diào)） |
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制 冷 |
循環(huán)水、制冷水箱 |
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防 護(hù) |
鉛有機(jī)玻璃與金屬結(jié)構(gòu)防護(hù)罩 |
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照 相 |
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相 機(jī) |
背反射勞厄相機(jī) （相機(jī)裝底片 ；暗室洗底片） |
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晶體定向 |
晶圓片Φ1—4英寸 晶棒長100㎜ |
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方 式 |
高精度（前置單色器） |
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測角范圍 |
θ10°～55°、2θ10°～110° |
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顯示器 |
數(shù)字顯示，度、分 、秒最小讀數(shù)10″ |
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顯示精度 |
1″ |
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光 閘 |
腳踏電磁光閘 |
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綜合精度 |
±15″ | |
