單晶定向裝置是我公司和北京京聯(lián)發(fā)數(shù)控科技有限公司、北京有研半導(dǎo)體材料股份有限公司共同合作研發(fā)的。安裝在外圓滾磨和端面機(jī)床上，該產(chǎn)品的推出，受到半導(dǎo)體材料行業(yè)的充分肯定，同時(shí)填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)空白。市場(chǎng)占有率達(dá)95%以上。
定向裝置是利用射線衍射原理，在滾磨機(jī)和端面機(jī)床上精確測(cè)定單晶的（110面）藍(lán)寶石A晶向、端面機(jī)床C晶向角度。由于該裝置與機(jī)床機(jī)固定在一起，因而消除了由于晶棒二次裝夾所帶來(lái)的定位誤差，同時(shí)也解決了大尺寸晶棒無(wú)法在普通定向儀上定向的問(wèn)題。并保證了測(cè)量晶體角度的精確性，提高了產(chǎn)品定向精度，滿足了大批量生產(chǎn)的需求。
該裝置與機(jī)床配套已廣泛應(yīng)用于單晶硅、藍(lán)寶石、砷化鎵、鍺等單晶行業(yè)。
規(guī) 格 表：
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名 稱 |
項(xiàng) 目 |
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測(cè)量角度 |
固定式角度 |
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外圓滾磨機(jī)機(jī)床 |
單晶硅：110 |
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外圓滾磨機(jī)機(jī)床 |
藍(lán)寶石：A |
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外圓滾磨機(jī)機(jī)床 |
砷化鎵 :110 |
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外圓滾磨機(jī)機(jī)床 |
鍺;110 |
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端面磨機(jī)床 |
藍(lán)寶石：C |
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