YX-2H8大晶棒定向儀是在標(biāo)準(zhǔn)定向儀基礎(chǔ)上,針對單晶硅、砷化鎵、藍(lán)寶石等多種晶體設(shè)計(jì).主要用于晶圓片、晶棒的測量，顯示器為外置式,樣品臺加裝承重軌道。
標(biāo)準(zhǔn)配置為GA 、GC、測角儀
1，一側(cè)GA測角儀能測晶體Φ2---Φ8英寸晶圓片；如硅（111）藍(lán)寶石C等角度；同時(shí)能測晶棒參考面或OF；如硅：（110）藍(lán)寶石A面等其它晶體的角度。
2， 另一側(cè)GC測角儀能測晶棒端面，測量時(shí)可通過改變滾杠寬度達(dá)到測量Φ5---Φ8英寸，長500㎜晶棒端面目的，如硅：（111，100）藍(lán)寶石C面等其它晶體的角度。同時(shí)也能測晶圓片。
主要參數(shù)：
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項(xiàng) 目 |
參 數(shù) |
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晶圓片直徑 |
2—8英寸； 最大11英寸 |
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晶棒直徑 |
5—8英寸 ；最大11英寸 |
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晶棒長度 |
500㎜ ； 最長550㎜ |
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樣品板面積 |
43寬×112高 ㎜ |
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定向精度 |
±30″ |
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數(shù)顯方式 |
θ角：度；分；秒；最小讀數(shù)10″ |
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數(shù)字位置 |
外置立式 |
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技術(shù)指標(biāo) |
符合YX-2參數(shù) | |
