特點(diǎn):
1. 采用最新進(jìn)口同類型X射線光源和高壓電源,大大提高了射線強(qiáng)度,具有穩(wěn)定性高,耐用性好等特點(diǎn)。更針對(duì)特殊晶體與衍射峰值弱不便于測(cè)量的情況,例如:金剛石、磷化銦等人工或部分天然晶體。
2. 樣品臺(tái)采用自動(dòng)旋轉(zhuǎn)方式,便于晶片的四點(diǎn)測(cè)量,并在操作過(guò)程中可觀察當(dāng)前旋轉(zhuǎn)角度,避免了手動(dòng)旋轉(zhuǎn)鏡片擺放不準(zhǔn)確的誤差。
3. 取消了手輪的操作,全封閉式,有效保護(hù)操作人員。只需輕觸觸摸屏或腳踏開關(guān),即可實(shí)現(xiàn)標(biāo)晶校準(zhǔn)和測(cè)量晶體。
4. 采用PLC控制技術(shù),自動(dòng)化程度高、故障率極低、抗干擾能力強(qiáng)、系統(tǒng)穩(wěn)定性好。
5. 具有測(cè)量數(shù)據(jù)打印功能,USB數(shù)據(jù)輸出接口,可轉(zhuǎn)換成EXCEL格式通過(guò)電腦存儲(chǔ)管理。
6. 可根據(jù)被測(cè)樣品不同,定制各種樣品臺(tái)和夾具,保證測(cè)量精度和使用的方便性。
7. 可進(jìn)行晶片或晶棒的角度自動(dòng)測(cè)量,應(yīng)用于各加工環(huán)節(jié)的角度檢驗(yàn),提高產(chǎn)品合格率。
技術(shù)指標(biāo):
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