YX-5A高精度藍(lán)寶石晶體定向儀:是在YX-2D6A定向儀基礎(chǔ)上升級(jí)產(chǎn)品,配置單色器,數(shù)字顯示為6位,最小讀數(shù)1″,精度±15″針對(duì)單晶硅、藍(lán)寶石、砷化稼等多種晶體設(shè)計(jì),主要用于晶圓片、晶棒的測(cè)量,操作方便,顯示器為外置式,樣品臺(tái)加裝承重軌道,屬于通用熱銷(xiāo)機(jī)型。 標(biāo)準(zhǔn)配置如下:GA, GB測(cè)角儀 1、一側(cè)GA測(cè)角儀能測(cè)晶體Φ2---Φ6英寸晶圓片;111, 100, 等角度;能測(cè)晶棒參考面110;OF等角度。藍(lán)寶石A,C,R面等角度。 2, 另一側(cè)GB專(zhuān)為晶棒設(shè)計(jì),設(shè)計(jì)為寬130,長(zhǎng)300平托板,配2個(gè)可移動(dòng)尼龍V型槽晶棒托,能測(cè)Φ2---Φ6英寸晶圓片;能測(cè)晶棒端面Φ2---Φ6英寸, 長(zhǎng)400晶棒 ;如:硅(111)(100)藍(lán)寶石C面等角度;第一個(gè)測(cè)2---3英寸端面,第二個(gè)測(cè)4---6英寸端面。
主要參數(shù):
項(xiàng) 目 |
參 數(shù) |
晶棒直徑 |
2---6英寸、最大8寸 |
晶棒長(zhǎng)度 |
400 mm |
樣品板面積 |
43寬×70高mm |
衍射方式 |
前置 單色器, |
定向精度 |
±15″ |
數(shù)顯方式 |
θ:度、分、秒; |
數(shù)顯單位 |
6位顯示 ;最小讀數(shù)1″ |
顯示器 |
立式外置 |
技術(shù)指標(biāo) |
符合YX-2參數(shù)。 | |