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晶體定向儀:
0415-2155900
傳真電話:
0415-2155887
無(wú)損探傷儀:
0415-2150150
傳真電話:
0415-2151390
 
YX-5A高精度晶體定向儀


   YX-5A高精度藍(lán)寶石晶體定向儀:是在YX-2D6A定向儀基礎(chǔ)上升級(jí)產(chǎn)品,配置單色器,數(shù)字顯示為6位,最小讀數(shù)1″,精度±15″針對(duì)單晶硅、藍(lán)寶石、砷化稼等多種晶體設(shè)計(jì),主要用于晶圓片、晶棒的測(cè)量,操作方便,顯示器為外置式,樣品臺(tái)加裝承重軌道,屬于通用熱銷(xiāo)機(jī)型。
   標(biāo)準(zhǔn)配置如下:GA, GB測(cè)角儀
   1、一側(cè)GA測(cè)角儀能測(cè)晶體Φ2---Φ6英寸晶圓片;111, 100, 等角度;能測(cè)晶棒參考面110;OF等角度。藍(lán)寶石A,C,R面等角度。
   2, 另一側(cè)GB專(zhuān)為晶棒設(shè)計(jì),設(shè)計(jì)為寬130,長(zhǎng)300平托板,配2個(gè)可移動(dòng)尼龍V型槽晶棒托,能測(cè)Φ2---Φ6英寸晶圓片;能測(cè)晶棒端面Φ2---Φ6英寸, 長(zhǎng)400晶棒 ;如:硅(111)(100)藍(lán)寶石C面等角度;第一個(gè)測(cè)2---3英寸端面,第二個(gè)測(cè)4---6英寸端面。

  主要參數(shù):

項(xiàng) 目

參 數(shù)

晶棒直徑

2---6英寸、最大8寸

晶棒長(zhǎng)度

400 mm

樣品板面積

43寬×70高mm

衍射方式

前置 單色器,

定向精度

±15″

數(shù)顯方式

θ:度、分、秒;

數(shù)顯單位

6位顯示 ;最小讀數(shù)1″

顯示器

立式外置

技術(shù)指標(biāo)

符合YX-2參數(shù)。

 

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