YX-3型 晶棒端面定向儀技術(shù)指標(biāo)
用途:主要用于單晶棒材端面定向,以磨制端面或籽晶加工前定向。 標(biāo)準(zhǔn)配置如下: 1、一側(cè)配晶棒專用夾具(直徑260),對(duì)晶棒端面進(jìn)行定向,硅(111,100),藍(lán)寶石A、C、等,測(cè)量尺寸Φ2---8英寸,長(zhǎng)0~180mm晶棒;測(cè)試好后,連同夾具取下,在平,平面磨床磨制端面以及內(nèi)圓切割機(jī)或籽晶鉆床等機(jī)床上加工籽晶條(棒)。 2、另一側(cè)對(duì)上述切割好的籽晶條端面進(jìn)行定向;測(cè)量籽晶尺寸:圓籽晶 Φ5---20mm,方籽晶 Φ5---20mm。
主要參數(shù):
項(xiàng) 目 |
參 數(shù) |
晶棒直徑 |
圓棒2---8英寸 |
晶棒長(zhǎng)度 |
0 ~180mm |
籽晶直徑 |
Φ5---20 |
籽晶長(zhǎng)度 |
150mm 最大180mm |
夾具直徑 |
260 mm |
定向精度 |
±30″ |
數(shù)顯方式 |
θ:度;分;秒;最小讀數(shù)10″ |
技術(shù)指標(biāo) |
符合YX-2參數(shù) |
注:用戶有特殊要求可協(xié)商,圖片僅供參考,以實(shí)物為準(zhǔn)。 產(chǎn)品圖附后:
|